TY  - CONF
AU  - Martin Sohn
AU  - Bryan Barnes
AU  - Lowell Howard
AU  - Richard Silver
AU  - Ravikiran Attota
AU  - Michael Stocker
C2  - Proceedings of SPIE, Santa Clara, CA
DA  - 2006-03-01
LA  - en
M1  - 6152
PB  - Proceedings of SPIE, Santa Clara, CA
PY  - 2006
TI  - Koehler Illumination for High-Resolution Optical Metrology
ER  -