TY  - CONF
AU  - Richard Silver
AU  - Thomas Germer
AU  - Ravikiran Attota
AU  - Bryan Barnes
AU  - B Bunday
AU  - J Allgair
AU  - Egon Marx
AU  - Jay Jun
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
DA  - 2007-01-01
LA  - en
M1  - 6518
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
PY  - 2007
TI  - Fundamental Limits of Optical Critical Dimension Metrology: A Simulation Study
ER  -