TY  - CONF
AU  - Michael Postek
AU  - Andras Vladar
AU  - John Kramar
AU  - L Stern
AU  - John Notte
AU  - Sean McVey
C2  - Proceedings of SPIE, San Diego, CA
DA  - 2007-09-10
LA  - en
M1  - 6648
PB  - Proceedings of SPIE, San Diego, CA
PY  - 2007
TI  - Instrumentation, Metrology, and Standards for Nanomanufacturing
ER  -