TY  - CONF
AU  - Richard Silver
AU  - Bryan Barnes
AU  - Ravikiran Attota
AU  - Jay Jun
AU  - James Filliben
AU  - Juan Soto
AU  - Michael Stocker
AU  - P Lipscomb
AU  - Egon Marx
AU  - Heather Patrick
AU  - Ronald Dixson
AU  - Robert Larrabee
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
DA  - 2006-03-01
LA  - en
M1  - 6152
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
PY  - 2006
TI  - The Limits of Image-Based Optical Metrology
ER  -