TY - CONF AU - Donald Windover AU - N Armstrong AU - James Cline AU - P Hung AU - A Diebold C2 - Proceedings| 2005 DA - 2005-11-13 LA - en M1 - 788 PB - Proceedings| 2005 PY - 2005 TI - Characterization of Atomic Layer Deposition Using X-Ray Reflectrometry ER -