TY  - ICOMM
AU  - Kyung Joong KIM
AU  - A Kim
AU  - S.C. Kim
AU  - S.W. Song
AU  - H. Ruh
AU  - W.E.S. Unger
AU  - J. Radnik
AU  - J. Mata-Salazar
AU  - J.M. Juarez-Garcia
AU  - O. Cortazar-Martinez
AU  - A. Herrera-Gomez
AU  - P.E. Hansen
AU  - J.S. Madsen
AU  - C.A. Senna
AU  - B.S. Archanjo
AU  - J.C. Damasceno
AU  - C.A. Achete
AU  - H. Wang
AU  - M. Wang
AU  - Donald Windover
AU  - Eric B. Steel
AU  - A. Kurokawa
AU  - T. Fujimoto
AU  - Y. Azuma
AU  - S. Terauchi
AU  - L. Zhang
AU  - W.A. Jordaan
AU  - S.J. Spencer
AU  - A.G. Shard
AU  - L. Koenders
AU  - M. Krumrey
AU  - I. Busch
AU  - C. Jeynes
C1  - https://www.bipm.org/documents/20126/46087117/CCQM-P190.pdf/5eaf9732-659b-fc91-c1b9-7d14f25112d1
C2  - BIPM
DA  - 2001-01-01 05:01:00
LA  - en
PB  - BIPM
PY  - 2001
TI  - Thickness measurement of nm HfO2 films
ER  -