TY  - JOUR
AU  - Eric Lin
AU  - Ronald Jones
AU  - Wen-Li Wu
AU  - John Barker
AU  - P Bolton
AU  - Z Barclay
C2  - SPIE Meeting
DA  - 2008-10-16 14:10:19
LA  - en
PB  - SPIE Meeting
PY  - 2008
TI  - Structural Characterization of Deep Sub-Micron Lithographic Structures Using Angle Neutron Scattering
ER  -