TY - JOUR AU - Martin L. Green AU - Kao-Shuo Chang AU - Ichiro Takeuchi AU - T Chikyow C2 - ECS Transactions DA - 2017-02-19 20:02:57 LA - en PB - ECS Transactions PY - 2017 TI - A Combinatorial Study of Metal Gate/HfO2-MOSCAPS ER -