TY  - JOUR
AU  - P.E. Thompson
AU  - G.G. Jernigan
AU  - David S. Simons
AU  - P. Chi
AU  - B.T. Jonker
AU  - O.M.J. van 't Erve
C2  - Thin Solid Films
DA  - 2009-10-22 04:10:00
LA  - en
PB  - Thin Solid Films
PY  - 2009
TI  - Phosphorus Doping of Silicon at Substrate Temperatures Above 600 °C
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=902765
ER  -