TY - JOUR AU - L Robertson AU - A Lilak AU - M Law AU - K. Jones AU - P. Kringhoj AU - L Rubin AU - J Jackson AU - David Simons AU - P Chi C2 - Applied Physics Letters DA - 1997-02-18 00:02:00 LA - en M1 - 71 PB - Applied Physics Letters PY - 1997 TI - The Effect of Dose Rate on Interstitial Release from the End-of-Range Implant Damage Region in Silicon ER -