TY  - JOUR
AU  - P Thompson
AU  - C Silvestre
AU  - M Twigg
AU  - G Jernigan
AU  - David Simons
C2  - Thin Solid Films
DA  - 1998-05-01 00:05:00
LA  - en
M1  - 321
PB  - Thin Solid Films
PY  - 1998
TI  - Atomic Hydrogen for the Formation of Abrupt Sb Doping Profiles in MBE-Grown Si
ER  -