TY  - JOUR
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C2  - Surface and Interface Analysis
DA  - 2004-10-01 00:10:00
LA  - en
M1  - 36
PB  - Surface and Interface Analysis
PY  - 2004
TI  - Critical Review of the Current Status of Thickness Measurements for Ultrathin SiO2 on Si, Part V: Results of a CCQM Pilot Study
ER  -