TY  - CONF
AU  - H Yang
AU  - E Buice
AU  - T Fagan
AU  - Stephen Smith
AU  - R Hocken
AU  - D Trumper
AU  - Richard Seugling
C2  - ASPE 19th Annual Meeting, Orlando, FL, USA
DA  - 2004-10-01 00:10:00
LA  - en
PB  - ASPE 19th Annual Meeting, Orlando, FL, USA
PY  - 2004
TI  - A Coarse/Fine Motion Control Stage; Preliminary Studies
ER  -