TY  - CONF
AU  - R Koning
AU  - Ronald Dixson
AU  - Joseph Fu
AU  - Thomas Renegar
AU  - Theodore Vorburger
AU  - V Tsai
AU  - Michael Postek
C2  - Proceedings of SPIE, Denver, CO, USA
DA  - 1999-11-01 00:11:00
LA  - en
M1  - 3806
PB  - Proceedings of SPIE, Denver, CO, USA
PY  - 1999
TI  - Step Height Metrology for Data Storage Applications
ER  -