TY - JOUR AU - K Doytchinov AU - F Kornblit AU - C Castellanos AU - J Oliveira AU - Thomas Renegar AU - Theodore Vorburger C2 - Metrologia DA - 2006-01-01 00:01:00 LA - en M1 - 43 PB - Metrologia PY - 2006 TI - International Comparison of Surface Roughness and Step Height (Depth) Standards, SIM 4.8 ER -