TY  - CONF
AU  - A Deleporte
AU  - J Allgair
AU  - C Archie
AU  - G Banke
AU  - Michael Postek
AU  - J Schlesinger
AU  - Andras Vladar
AU  - A Yanof
C2  - Proceedings of SPIE, Santa Clara, CA, USA
DA  - 2000-08-18 00:08:00
LA  - en
M1  - 4181
PB  - Proceedings of SPIE, Santa Clara, CA, USA
PY  - 2000
TI  - Benchmarking of Advanced CD-SEMs Against the New Unified Specification for Sub-0.18 Micrometer Lithography
ER  -