TY  - CONF
AU  - Theodore Vorburger
AU  - Ronald Dixson
AU  - Jun-Feng Song
AU  - Thomas Renegar
AU  - Joseph Fu
AU  - Ndubuisi Orji
AU  - V Tsai
AU  - E. Williams
AU  - H Edwards
AU  - D Cook
AU  - P West
AU  - R Nyffenegger
C2  - Defense Manufacturing Conference, Unknown, 1, USA
DA  - 2001-01-01 00:01:00
LA  - en
PB  - Defense Manufacturing Conference, Unknown, 1, USA
PY  - 2001
TI  - Atomic Level Surface Metrology
ER  -