TY - JOUR AU - Lei, R AU - Tsai, W AU - Aberg, I AU - O'Reilly, T AU - Hoyt, J AU - Antoniadis, D AU - Smith, H AU - Paul, Albert AU - Green, Martin AU - Li, J AU - Hull, R C2 - Applied Physics Letters DA - 2005-12-19 00:12:00 LA - en M1 - 87 PB - Applied Physics Letters PY - 2005 TI - Strain Relaxation in Patterned Strained Silicon Directly on Insulator Structures ER -