TY  - JOUR
AU  - M Lisiansky
AU  - A Heiman
AU  - M Kovler
AU  - Y Roizin
AU  - Igor Levin
AU  - A Gladkikh
AU  - M Oksman
AU  - R Edrei
AU  - A Hofman
AU  - Y Shnieder
AU  - T Claasen
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 2021-10-12 15:10:19
LA  - en
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 2021
TI  - SiO<sub>2</sub>/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>/A1<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Stacks on Silicon for Scaled-Down Memory Devices: Effects of Interfaces and Thermal Annealing
ER  -