TY  - JOUR
AU  - Lisiansky, M
AU  - Heiman, A
AU  - Kovler, M
AU  - Roizin, Y
AU  - Levin, Igor
AU  - Gladkikh, A
AU  - Oksman, M
AU  - Edrei, R
AU  - Hofman, A
AU  - Shnieder, Y
AU  - Claasen, T
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 2021-10-12 15:10:19
LA  - en
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 2021
TI  - SiO<sub>2</sub>/Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>/A1<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Stacks on Silicon for Scaled-Down Memory Devices: Effects of Interfaces and Thermal Annealing
ER  -