TY  - CONF
AU  - Kristopher Lavery
AU  - George Thompson
AU  - Hai Deng
AU  - D Fryer
AU  - Kwang-Woo Choi
AU  - B Vogt
AU  - Vivek Prabhu
AU  - Eric Lin
AU  - Wen-Li Wu
AU  - Sushil Satija
AU  - Michael Leeson
AU  - Heidi Cao
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA, US
DA  - 2006-03-01 00:03:00
LA  - en
M1  - 6153
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA, US
PY  - 2006
TI  - Fundamentals of the Reaction-Diffusion Process in Model EUV Photoresists
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=852624
ER  -