TY - JOUR AU - Chang, K AU - Green, Martin AU - Suehle, John AU - Vogel, Eckhard AU - Xiong, Hao AU - Hattrick-Simpers, Jason AU - Takeuchi, Ichiro AU - Famodu, O AU - Ohmori, K AU - Ahmet, P AU - Chikyow, T AU - Majhi, Prashant AU - Lee, B C2 - Applied Physics Letters DA - 2006-10-02 00:10:00 LA - en M1 - 89 PB - Applied Physics Letters PY - 2006 TI - Combinatorial Study of Ni-Ti-Pt Ternary Metal Gate Electrodes on HfO2 for the Advanced Gate Stack ER -