TY  - JOUR
AU  - Shen, Y
AU  - Zhang, Z
AU  - Tsai, Benjamin
AU  - DeWitt, D
C2  - International Journal of Thermophysics
DA  - 2001-07-01 00:07:00
LA  - en
M1  - 22
PB  - International Journal of Thermophysics
PY  - 2001
TI  - Bidirectional Reflectance Distribution Function of Rough Silicon Wafers
ER  -