TY  - JOUR
AU  - Y Shen
AU  - Z Zhang
AU  - Benjamin Tsai
AU  - D DeWitt
C2  - International Journal of Thermophysics
DA  - 2001-07-01 00:07:00
LA  - en
M1  - 22
PB  - International Journal of Thermophysics
PY  - 2001
TI  - Bidirectional Reflectance Distribution Function of Rough Silicon Wafers
ER  -