TY - JOUR AU - M Nieto AU - J Allain AU - V Titov AU - M Hendricks AU - A Hassanein AU - D Rokusek AU - C Chrobak AU - Charles Tarrio AU - Yaniv Barad AU - Steven Grantham AU - Thomas Lucatorto AU - Bryan Rice C2 - Journal of Applied Physics DA - 2006-01-01 00:01:00 LA - en M1 - 100 PB - Journal of Applied Physics PY - 2006 TI - Effect of xenon bombardment on ruthenium coated grazing incidence collector lifetime for EUV lithography, ER -