TY - JOUR AU - K Berggren AU - A Bard AU - J Wilbur AU - John Gillaspy AU - A Helg AU - Jabez McClelland AU - S Rolston AU - William Phillips AU - M Prentiss AU - G Whitesides C2 - Science DA - 1995-01-01 00:01:00 LA - en M1 - 269 PB - Science PY - 1995 TI - Microlithography By Using Neutral Metastable Atoms and Self-Assembled Monolayers ER -