TY  - CONF
AU  - Bernd Bodermann
AU  - Detleff Bergmann
AU  - Egbert Buhr
AU  - Wolfgang Haebler-Grohne
AU  - Harald Bosse
AU  - James Potzick
AU  - Ronald Dixson
AU  - Richard Quintanilha
AU  - Michael Stocker
AU  - Andras Vladar
AU  - Ndubuisi Orji
C2  - SPIE Proceedings Vol. 7488, Monterey, CA, US
DA  - 2009-10-09 00:10:00
LA  - en
M1  - 7488
PB  - SPIE Proceedings Vol. 7488, Monterey, CA, US
PY  - 2009
TI  - Results of an international photomask linewidth comparison of NIST and PTB
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=903776
ER  -