TY  - JOUR
AU  - Di XU
AU  - Vinay Sriram
AU  - Vidvuds Ozolins
AU  - Jenn-Ming Yang
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AU  - Gery Stafford
AU  - Carlos Beauchamp
AU  - Inka Zienert
AU  - Holm Geisler
AU  - Petra Hofmann
AU  - Ehrenfried Zschech
C2  - Microelectronic Engineering
DA  - 2008-05-03 00:05:00
LA  - en
PB  - Microelectronic Engineering
PY  - 2008
TI  - Nanotwin formation and its physical properties and effect on reliability of copper interconnects.
ER  -