TY - JOUR AU - J Shi AU - S Grindle AU - S Chen AU - G Owen AU - L Insalaco AU - C Cromer AU - Lori Goldner C2 - Proc SPIE's 1995 International Symposium on Microlithography DA - 1995-01-01 00:01:00 LA - en M1 - 2440 PB - Proc SPIE's 1995 International Symposium on Microlithography PY - 1995 TI - UV Radiometry Issues for UV Stabilization of Photoresist ER -