TY  - JOUR
AU  - Y Ding
AU  - Thomas Germer
AU  - J Douglas
AU  - B Okerberg
AU  - A Karim
AU  - C Soles
C2  - ACS Nano
DA  - 2007-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 1
PB  - ACS Nano
PY  - 2007
TI  - Relaxation behavior of polymer structures fabricated by nanoimprint lithography
ER  -