TY  - JOUR
AU  - Sasa Bajt
AU  - H Chapman
AU  - Nhan Nguyen
AU  - J Alameda
AU  - J Robinson
AU  - M Malinowski
AU  - E Gullikson
AU  - Andrew Aquila
AU  - Charles Tarrio
AU  - Steven Grantham
C2  - Applied Optics
DA  - 2003-10-01 00:10:00
LA  - en
M1  - 42
PB  - Applied Optics
PY  - 2003
TI  - Design and Performance of Capping Layers for Extreme-Ulatraviolet Multilayer Mirrors
ER  -