TY  - CONF
AU  - Byron Shulver
AU  - Andrew Bunting
AU  - Alan Gundlach
AU  - Les Haworth
AU  - Alan Ross
AU  - Anthony Snell
AU  - J. Stevenson
AU  - Anthony Walton
AU  - Richard Allen
AU  - Michael Cresswell
C2  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, Austin, TX, USA
DA  - 2006-04-01 00:04:00
LA  - en
PB  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, Austin, TX, USA
PY  - 2006
TI  - Design and Fabrication of a Copper Test Structure as a Electrical Critical Dimension Reference
ER  -