TY  - JOUR
AU  - M Nieto
AU  - J Allain
AU  - V Titov
AU  - M Hendricks
AU  - A Hassanein
AU  - D Rokusek
AU  - C Chrobak
AU  - Charles Tarrio
AU  - Yaniv Barad
AU  - Steven Grantham
AU  - Thomas Lucatorto
AU  - Bryan Rice
C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 2006-09-01 00:09:00
LA  - en
M1  - 100
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 2006
TI  - Effect of Xenon Bombardment on Ruthenium-Coated Grazing Incidence Collector Mirror Lifetime for EUV Lithography
ER  -