TY  - JOUR
AU  - L Gan
AU  - Romel Gomez
AU  - Audie Castillo
AU  - P Chen
AU  - Cedric Powell
AU  - William Egelhoff Jr.
C2  - Thin Solid Films
DA  - 2002-08-01 00:08:00
LA  - en
M1  - 415
PB  - Thin Solid Films
PY  - 2002
TI  - Ultra-Thin Aluminum Oxide as a Thermal Oxidation Barrier on Metal Films
ER  -