TY  - CONF
AU  - Michael Cresswell
AU  - N. Arora
AU  - Richard Allen
AU  - Christine Murabito
AU  - Curt Richter
AU  - Ashwani Gupta
AU  - Loren Linholm
AU  - D. Pachura
AU  - P. Bendix
C2  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, Kobe, 1, JA
DA  - 2001-02-06 00:02:00
LA  - en
M1  - 14
PB  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, Kobe, 1, JA
PY  - 2001
TI  - Test Chip for Electrical Linewidth of Copper-Interconnection Features and Related Parameters
ER  -