TY  - JOUR
AU  - D Dwight
AU  - M Rao
AU  - O Holland
AU  - G Kelner
AU  - P Chi
AU  - J Kretchmer
AU  - M Ghezzo
C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 1997-02-12 00:02:00
LA  - en
M1  - 82
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 1997
TI  - Nitrogen and Aluminum Implantation in High Resistivity Silicon Carbide
ER  -