TY  - JOUR
AU  - G Nagy
AU  - M Levy
AU  - R Scarmozzino
AU  - R Osgood
AU  - H Dai
AU  - R Smalley
AU  - Chris Michaels
AU  - G Flynn
AU  - G McLane
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 1998-02-17 00:02:00
LA  - en
M1  - 73
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 1998
TI  - Carbon Nanotube Tipped Atomic Force Microscopy for Measurement of <100nm Etch Morphology on Semiconductors
ER  -