TY  - JOUR
AU  - L Robertson
AU  - M Law
AU  - K. Jones
AU  - L Rubin
AU  - J Jackson
AU  - P Chi
AU  - David Simons
C2  - Applied Physics Letters
DA  - 1999-12-01 00:12:00
LA  - en
M1  - 75
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 1999
TI  - Correlation of End-of-Range Damage Evolution and Transient Enhanced Diffusion of Boron in Regrown Silicon
ER  -