TY - JOUR AU - Eric Chason AU - Alison Engwal AU - Fei Pei AU - Manon Lafouresse AU - Ugo Bertocci AU - Gery Stafford AU - Joseph Murphy AU - Catherine Lenihan AU - D. Buckley C2 - Journal of the Electrochemical Society DA - 2013-12-13 00:12:00 DO - https://doi.org/10.1149/2.048312jes LA - en M1 - 160 PB - Journal of the Electrochemical Society PY - 2013 TI - Understanding residual stress in electrodeposited Cu thin films ER -