TY  - JOUR
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C2  - Journal of Physics D-Applied Physics
DA  - 2014-04-09 00:04:00
LA  - en
M1  - 47
PB  - Journal of Physics D-Applied Physics
PY  - 2014
TI  - Recent advances in vacuum sciences and applications
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=914906
ER  -