TY - HEAR AU - Victor Vartanian AU - Paul McClure AU - Vladimir Mancevski AU - Joseph Kopanski AU - Phillip Rack AU - Ilona Sitnitsky AU - Matthew Bresin AU - Vincent LaBella AU - Kathleen Dunn DA - 2010-08-03 00:08:00 LA - en PY - 2010 TI - Carbon nanotube applications to scanning probe microscopy for next generation semiconductor metrology ER -