TY  - CONF
AU  - D Chen
AU  - D DeWitt
AU  - K Kreider
AU  - Benjamin Tsai
AU  - W Kimes
C2  - RTP 2002 , Vancouver, 1, CA
DA  - 2002-01-01 00:01:00
LA  - en
PB  - RTP 2002 , Vancouver, 1, CA
PY  - 2002
TI  - Effects of Wafer Emissivity on Rapid Thermal Processing Temperature Measurement
ER  -