TY  - JOUR
AU  - Sasa Bajt
AU  - H Chapman
AU  - Nhan Nguyen
AU  - J Alameda
AU  - J Robinson
AU  - M Malinowski
AU  - Eric Gullikson
AU  - Andrew Aquila
AU  - Charles Tarrio
AU  - Steven Grantham
C2  - Applied Optics
DA  - 2003-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 42
PB  - Applied Optics
PY  - 2003
TI  - Design and performance of capping layers for extreme-ultraviolet multilayer mirrors
ER  -