TY  - JOUR
AU  - J Slaughter
AU  - D Schulze
AU  - C Hillis
AU  - A Mirone
AU  - R Stalio
AU  - R Watts
AU  - Charles Tarrio
AU  - Thomas Lucatorto
AU  - Michael Krumrey
AU  - P Mueller
AU  - C Falco
C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 1994-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 76
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 1994
TI  - Structure and Performance of Si/Mo Multilayer Mirrors for the Extreme Ultra-violet,
ER  -