TY - JOUR AU - Kreider, K AU - DeWitt, D AU - Tsai, Benjamin AU - Lovas, Francis AU - Allen, David C2 - Rapid Thermal and Integrated Processing VIIMat Res Soc Symp DA - 1998-01-01 00:01:00 LA - en M1 - 525 PB - Rapid Thermal and Integrated Processing VIIMat Res Soc Symp PY - 1998 TI - RTP Calibration Wafer Using Thin-Film Thermocouples, ed. by M.C. Ozturk, F. Roozeboom, P.J. Timans, and S.H. Pas ER -