TY - JOUR AU - K Fahey AU - P Dunne AU - L McKinney AU - G O'Sullivan AU - E Sokell AU - J White AU - Alejando Aguilar-Mendoza AU - Joshua Pomeroy AU - Joseph Tan AU - B Blagojevic AU - E LeBigot AU - John Gillaspy C2 - Journal of Physics D-Applied Physics DA - 2004-12-01 00:12:00 LA - en M1 - 37 No. 23 PB - Journal of Physics D-Applied Physics PY - 2004 TI - UTA versus Line Emission for EUVL: Studies on Xenon Emission at the NIST EBIT ER -