TY  - JOUR
AU  - J Lenhart
AU  - Daniel Fischer
AU  - S Sambasivan
AU  - Eric Lin
AU  - R Jones
AU  - Christopher Soles
AU  - Weida Wu
AU  - D Goldfarb
AU  - M Angelopoulos
C2  - Langmuir
DA  - 2005-04-26 00:04:00
LA  - en
M1  - 21
PB  - Langmuir
PY  - 2005
TI  - X-ray absorption spectroscopy to probe surface composition and surface deprotection in photoresist films
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=854243
ER  -