TY  - JOUR
AU  - R Farrow
AU  - Michael Postek
AU  - William Keery
AU  - Samuel Jones
AU  - J Lowney
AU  - M Blakey
AU  - L Fetter
AU  - A Liddle
AU  - L Hopkins
AU  - H Huggins
AU  - M Peabody
AU  - A Novembre
AU  - J Griffith
C2  - Journal of Vacuum Science and Technology
DA  - 1997-11-01 00:11:00
LA  - en
M1  - 15
PB  - Journal of Vacuum Science and Technology
PY  - 1997
TI  - Application of Trasmission Electron Detection to Scalpel Mask Metrology
ER  -