TY  - JOUR
AU  - Michael Postek
AU  - Andras Vladar
AU  - J Lowney
AU  - Robert Larrabee
AU  - William Keery
C2  - Scanning
DA  - 1998-04-01 00:04:00
LA  - en
M1  - 20(3)
PB  - Scanning
PY  - 1998
TI  - Inverse Electron Beam Modeling and Metrology Research
ER  -