TY  - JOUR
AU  - M. Parameswaran
AU  - A. Robinson
AU  - David Blackburn
AU  - Michael Gaitan
AU  - Jon Geist
C2  - IEEE Electron Device Letters
DA  - 1991-02-01 00:02:00
LA  - en
M1  - 12
PB  - IEEE Electron Device Letters
PY  - 1991
TI  - Micromachined Thermal Radiation Emitter from a Commercial CMOS Process
ER  -