TY  - CONF
AU  - Peter Roitman
AU  - David Simons
AU  - P Chi
AU  - Richard Lindstrom
AU  - G. Lux
AU  - S. Baumann
AU  - S. Novak
AU  - R. Wilson
AU  - D. Farrington
AU  - J. Keenan
AU  - F. Stevie
AU  - J. Moore
AU  - R. Irwin
AU  - A. Filo
AU  - C. Magee
AU  - R. Alcorn
AU  - D. File
C2  - Proc., Seventh International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS VII), Monterey, CA, USA
DA  - 1990-12-31 00:12:00
LA  - en
PB  - Proc., Seventh International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS VII), Monterey, CA, USA
PY  - 1990
TI  - Round-Robin Study of Implants in Si and SiO<sub>2</sub> by SIMS, RBS, and NAA
ER  -