TY - JOUR AU - M Ghezzo AU - D. Brown AU - E. Downey AU - J Kretchmer AU - Joseph Kopanski C2 - Applied Physics Letters DA - 1993-08-01 00:08:00 LA - en M1 - 63 PB - Applied Physics Letters PY - 1993 TI - Boron-Implanted 6H-SiC Diodes ER -